[文章導讀] X射線能譜儀為掃描電鏡附件，X射線能譜儀原理為電子槍發射的高能電子由電子光學系統中的兩級電磁透鏡聚焦成很細的電子束來激發樣品室中的樣品，從而產生背散射電子、二次電子、俄歇電子、吸收電子、透射電子、X射線和陰極熒光等多種信息。若X射線光子由Si（Li）探測器接收后給出電脈沖訊號，

X射線能譜儀（點擊了解詳情）為掃描電鏡附件，X射線能譜儀原理為電子槍發射的高能電子由電子光學系統中的兩級電磁透鏡聚焦成很細的電子束來激發樣品室中的樣品，從而產生背散射電子、二次電子、俄歇電子、吸收電子、透射電子、X射線和陰極熒光等多種信息。若X射線光子由Si（Li）探測器接收后給出電脈沖訊號，X射線能譜儀由于X射線光子能量不同（對某一元素能量為一不變量）經過放大整形后送入多道脈沖分析器，通過顯像管就可以觀察按照特征X射線能量展開的圖譜。一定能量上的圖譜表示一定元素，圖譜上峰的高低反映樣品中元素的含量（量子的數目）。

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