1. 北京歐倍爾科學儀器有限公司

      德國進口等離子表面處理設備中國總代理

      400-686-0188

      您的當前位置:首頁 ->歐倍爾資訊 ->新聞資訊

      首個基于MEMS的納米壓痕儀——FT-NMT04原位納米壓痕儀

      返回列表 來源:北京歐倍爾 查看手機網址
      掃一掃!首個基于MEMS的納米壓痕儀——FT-NMT04原位納米壓痕儀掃一掃!
      瀏覽:- 發布日期:2020-03-06 09:03:55【

      [文章導讀] FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬,陶瓷,薄膜以及超材料和MEMS等微結構的機械測試進行了優化...


      首個基于 MEMS的納米壓痕儀——FT-NMT04原位納米壓痕儀


      FT-NMT04原位納米力學性能測試系統:是一款可在SEM(掃描電子顯微鏡)/FIB(聚焦離子束)中對微納米材料和結構的力學性能進行原位、直接而準確測量的納米機器人系統。

       作為世界上第一個基于 MEMS 納米壓痕儀, FT-NMT04 基于獲得專利的 瑞士FemtoTools 微電子機械系統( MEMS )技術。利用二十多年的技術創新,這種原位納米壓痕具有無與倫比的分辨率,可重復性和動態響應。

      FT-NMT04 原位納米壓痕儀針對金屬,陶瓷,薄膜以及超材料和MEMS 等微結構的機械測試進行了優化。此外,通過使用各種附件。

      原位納米壓痕儀

       FT-NMT04原位納米壓痕儀的功能可以擴展到各個研究領域的多樣化要求。納米壓痕,壓縮測試,拉伸測試,斷裂測試,疲勞測試它可以適配在客戶的掃描電鏡(立式電鏡以及聚焦離子中。


      原位納米壓痕儀

         

      典型案列:

      納米級測試:測試多層有機和無機復合薄膜中各膜層的力學特性(如模量和泊松比等),無機膜層厚度約100~600nm、有機膜層厚度約1~10um,做成納米柱(如下圖所示),進行壓縮測試,測其模量和屈服強度。


      納米壓痕儀微米測試

       

      納米壓痕測試在多層薄膜的橫截面上單層。 FT-NMT04系統可以直接測量每層的彈性模量和硬度,厚度在50nm100um之間。無需特殊的樣品制備。

      從每層制備微/納柱,柱壓縮試驗以測量每層的屈服應力,斷裂應變和彈性模量。

      從每層準備長方體形狀的微/納柱,使用SEM測量柱壓縮試驗期間的厚度/寬度變化以獲得泊松比。

      微米級測試:單軸壓縮、拉伸和蠕變測試,懸臂梁、三點彎測試,泊松比測試,CTE測試,尺寸直徑10um-50um,高度30um-150um,測試對象是器件內部的underfill材料(polymer+填充顆粒),模量范圍1MPa~10Gpa。 

      FT-NMT04原位納米機械測試系統可以對模量從10kPa500GPa的材料和結構進行以下測試:

      2.1單軸壓縮試驗

      2.2單軸拉伸試驗

      2.3蠕變試驗

      2.4懸臂彎曲

      2.5三點彎曲試驗

      2.6使用單軸壓縮試驗進行Poission比率試驗。

      2.7熱膨脹系數(CTE)。利用FT-NMT04系統中的發現接觸功能,可以準確記錄加熱前后樣品的尺寸,并可以從軟件中獲得不同結構或材料的CTE。


      • 北京歐倍爾科學儀器有限公司 版權所有
      • 電話:400-686-0188 備案號:京ICP備09011259號-1
      • 郵箱:bjobe@163.com
      • 地址:北京市海淀區清河建金中心513-516室

      掃一掃,關注歐倍爾 掃一掃,關注歐倍爾

      免费男女牲交全过程播放,男女性高爱潮高清免费,粗大猛烈进出高潮视频大全