[文章導讀] 近年來,隨著工業的現代化、規?；?、產業化,以及高新技術和國防技術的發展,對各種材料表面性能的要求越來越高。

近年來,隨著工業的現代化、規?；?、產業化,以及高新技術和國防技術的發展,對各種材料表面性能的要求越來越高。

      20世紀80年代,現代表面技術被國際科技界譽為最具發展前途的十大技術之一的納米壓痕。納米壓痕對薄膜、涂層和表面處理材料的極薄表層的物理、化學、力學性能和材料內部的性能常有很大差異,這些差異在摩擦磨損、物理、化學、機械行為中起著主導作用,如計算機磁盤、光盤等,要求表層不但有優良的電、磁、光性能,而且要求有良好的潤滑性、摩擦小、耐磨損、抗化學腐蝕、組織穩定和優良的納米壓痕及微納力學性能。因此,世界各國都非常重視材料的納米壓痕的納米級表層的物理、化學、機械性能及其檢測方法的研究。

      同時隨著材料設計的微量化、微電子行業集成電路結構的復雜化,傳統材料力學性能測試方法已難以滿足微米級及更小尺度樣品的測試精度,不能夠準確評估薄膜材料的強度指標和壽命 另外在材料微結構研究領域中, 材料研究尺度逐漸縮小,材料的變形機制表現出與傳統塊狀材料相反的規律 ,以上趨勢要求測試儀器具有高的位置分辨率、位移分辨率和載荷分辨率 ,納米壓痕方法能夠滿足上述測試需求。